瑞士VAT UHV系列超高真空閥門

一、UHV系列核心特性

1. 產(chǎn)品定位

• 類型：全金屬密封超高真空閥（Ultra-High Vacuum Valve）

• 適用真空范圍：

• 標(biāo)準(zhǔn)版：10?? ~ 10?12 mbar

• 定制版：可達(dá)10?13 mbar（特殊烘烤設(shè)計(jì)）

• 核心優(yōu)勢(shì)：

• 零泄漏：金屬密封漏率 <1×10?12 mbar·L/s（He檢漏）。

• 耐高溫烘烤：閥體可承受 250°C~300°C 烘烤（標(biāo)準(zhǔn)版）/ 450°C（定制版）。

• 無(wú)有機(jī)材料：全金屬結(jié)構(gòu)，避免放氣污染。

2. 設(shè)計(jì)

• 雙密封系統(tǒng)：主密封（金屬刀口） + 次級(jí)密封（彈性補(bǔ)償）。

• 低扭矩驅(qū)動(dòng)：磁耦合或波紋管傳動(dòng)，避免軸封泄漏。

• 材料純度：316L不銹鋼（EP級(jí)電解拋光），表面粗糙度<0.8μm。

二、型號(hào)分類與技術(shù)參數(shù)

1. 型號(hào)命名規(guī)則（以VAT UHV 24為例）

2. 子型號(hào)對(duì)比表

3. 詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

三、典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體制造

• 應(yīng)用：

• 刻蝕機(jī)/離子注入機(jī)的腔體隔離（防顆粒污染）。

• 分子束外延（MBE）系統(tǒng)的超高真空維持。

• 型號(hào)推薦：

• VAT UHV 24-A（DN40，氣動(dòng)快速隔離）。

2. 科研裝置

• 應(yīng)用：

• 同步輻射光源的束線控制。

• 核聚變裝置（如托卡馬克）的真空分段。

• 型號(hào)推薦：

• VAT UHV 54-M（DN100，手動(dòng)可靠密封）。

3. 航天與鍍膜

• 應(yīng)用：

• 衛(wèi)星推進(jìn)劑儲(chǔ)罐的真空密封測(cè)試。

• 光學(xué)鍍膜機(jī)的腔體壓力調(diào)節(jié)。

• 型號(hào)推薦：

• VAT UHV 10-E（DN16，電動(dòng)精密控制）。

四、選型與安裝要點(diǎn)

1. 選型關(guān)鍵因素

• 通徑需求：根據(jù)流量計(jì)算（如DN40對(duì)應(yīng)約20 L/s @10?? mbar）。

• 驅(qū)動(dòng)方式：

• 氣動(dòng)：快速開(kāi)關(guān)（適合安全隔離）。

• 電動(dòng)：可集成自動(dòng)化控制（如PLC）。

• 法蘭標(biāo)準(zhǔn)：

• CF法蘭：超高真空（金屬密封）。

• ICF法蘭：極小漏率需求（如10?13 mbar）。

2. 安裝規(guī)范

• 清潔要求：

• 安裝前用丙酮/酒精清潔法蘭面（戴無(wú)塵手套）。

• 扭矩控制：

• CF法蘭螺栓需按對(duì)角線分步擰緊（DN40推薦8~10 Nm）。

• 烘烤建議：

• 以10°C/min速率升溫至250°C，保溫48小時(shí)。

五、維護(hù)與故障處理