午夜在线观看视频免费 成人-午夜在线亚洲-午夜在线亚洲男人午在线-午夜在线影院-国产精品免费精品自在线观看-国产精品免费久久

PRODUCTS CENTER

產(chǎn)品展示

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品展示瑞士VAT瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001
產(chǎn)品簡介:

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001
產(chǎn)品基本信息
型號:61332-KEAF-0001

品牌:VAT Group(瑞士,真空閥領(lǐng)域)

類型:高真空蝶形控制閥(氣動驅(qū)動,金屬密封)

產(chǎn)品型號:

更新時間:2025-07-17

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

訪 問 量 :1725

服務(wù)熱線

15214375780

立即咨詢
產(chǎn)品介紹

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001

1. 核心參數(shù)概覽

參數(shù)類別詳細(xì)規(guī)格
型號61332-KEAF-0001
類型氣動驅(qū)動高真空蝶形控制閥(金屬密封)
真空范圍工作壓力:10?? mbar 至 大氣壓(兼容超高真空/XHV)
漏率<1×10?? mbar·l/s(金屬密封版)
溫度范圍-20°C 至 +150°C(標(biāo)準(zhǔn))/ 可選高溫版至 +250°C(金屬密封)
閥體材質(zhì)316L不銹鋼(電解拋光,表面粗糙度 Ra ≤ 0.8 μm)
密封材質(zhì)標(biāo)準(zhǔn):全金屬密封(無彈性體)
可選:氟橡膠(FKM,適用于非等離子體環(huán)境)
驅(qū)動方式氣動執(zhí)行(單作用彈簧復(fù)位/雙作用)
響應(yīng)時間:<100 ms(全開至全關(guān))
法蘭標(biāo)準(zhǔn)ISO-KF、CF 或定制法蘭(SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容)
控制信號可選:4-20mA模擬量反饋、數(shù)字信號(RS485)

2. 機械與結(jié)構(gòu)設(shè)計

閥體與密封系統(tǒng)

  • 蝶板設(shè)計

    • 采用低慣量鈦合金蝶板,減少顆粒生成,適合潔凈環(huán)境(符合SEMI F47標(biāo)準(zhǔn))。

    • 動態(tài)平衡結(jié)構(gòu),降低氣流擾動對晶圓工藝的影響。

  • 密封技術(shù)

    • 金屬密封:金包覆不銹鋼密封圈,耐高溫烘烤(≤150°C持續(xù)),抗等離子體腐蝕。

    • 彈性體密封(可選):FKM材質(zhì),適用于非腐蝕性氣體環(huán)境(漏率略高,約10?? mbar·l/s)。

執(zhí)行機構(gòu)

  • 氣動模塊

    • 標(biāo)配氣壓范圍:4-6 bar(干燥空氣或氮氣驅(qū)動)。

    • 可選防爆設(shè)計(ATEX認(rèn)證)。

  • 位置反饋

    • 高精度電位器或霍爾傳感器,實時監(jiān)控閥門開度(精度±0.5%)。


3. 性能曲線與關(guān)鍵指標(biāo)

流量特性

  • Cv值:0.8(全開時,介質(zhì)為空氣)。

  • 流量調(diào)節(jié)比:100:1(線性控制區(qū)間)。

真空保持能力

真空級別漏率要求61332-KEAF-0001實測數(shù)據(jù)
高真空(HV)<10?? mbar·l/s<5×10?? mbar·l/s
超高真空(XHV)<10?? mbar·l/s<1×10?? mbar·l/s(金屬密封)

4. 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用詳解

典型設(shè)備集成

工藝設(shè)備功能角色配套型號要求
刻蝕機(Etch)腐蝕性氣體隔離(Cl?/HBr)金屬密封+等離子體防護(hù)涂層
ALD/CVD前驅(qū)體氣體精準(zhǔn)控制快速響應(yīng)(<50 ms)+高線性度
離子注入機束線真空隔離超高真空密封(XHV級)
晶圓傳輸模塊Loadlock快速抽真空大口徑(可選VAT 48系列配合)

兼容性數(shù)據(jù)

  • 氣體介質(zhì)

    • 兼容腐蝕性氣體(WF?、NH?、SiH?等),需指定鍍層(如PTFE或Al?O?)。

  • 顆粒控制

    • 符合ISO 14644-1 Class 4潔凈度要求(每立方米≤3520顆粒,粒徑≥0.5 μm)。


5. 安裝與維護(hù)指南

安裝要點

  1. 法蘭對接

    • 使用無應(yīng)力安裝工具,避免閥體變形(扭矩限制:≤10 Nm)。

  2. 氣路連接

    • 氣源需配備0.1 μm過濾器,防止顆粒污染。

維護(hù)周期

  • 常規(guī)檢查

    • 每3個月檢查密封面磨損(金屬密封壽命約10?次循環(huán))。

  • 深度維護(hù)

    • 每2年或50萬次循環(huán)后更換密封圈(原廠維修包編號:VAT-MK-61332)。

      優(yōu)勢供應(yīng):

    商品編號61338-PEAE-0001

    商品編號61348-PECN-0001

    商品編號61340-PECE-0001

    商品編號61344-PAAX-0001

    商品編號61344-PEAX-0001

    商品編號 61350-PAAK-0001

    商品編號61338-PAAN-0001

    商品編號61348-PAAQ-0001

     61336-PACX-0001

     61336-PACE-0001

    61348-PEAQ-0001

    61340-PECX-0001

    61340-PACF-0001

    61350-PAGQ-0001

    61344-PACQ-0001


瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KEAF-0001


在線留言

ONLINE MESSAGE

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
服務(wù)熱線 15214375780

掃碼加微信

Copyright © 2025上海茂碩機械設(shè)備有限公司 All Rights Reserved    備案號:滬ICP備18010475號-7
日产精品一区二区| 国产亚洲一区二区手机在线观看| 秋霞电影网免费观看| 最新 国产 精品 精品 视频| 鲁大师在线观看视频在线播放| 亚洲熟妇丰满XXXXX国语| 精品3D动画肉动漫在线无码| 亚洲VA中文字幕无码毛片| 国产亚洲无日韩乱码| 性生生活30分钟免费| 国产免费无码一区二区视频| 天堂国品一二三产品区别大吗 | 亚洲伊人久久综合成人| 久久国产精品日本波多野结衣| 亚洲女人被黑人巨大进入| 妓女院18禁止观看| 亚洲乱色伦图片区小说| 久久AV无码精品人妻系列| 亚洲午夜福利AV一区二区无码| 久久精品岛国AV一区二区无码| 亚洲欧美一区二区三区在线| 精品无码国产一区二区三区51安| 亚洲人成无码网WWW| 久久精品无码一区二区小草 | 波多野结衣迅雷种子| 日本强伦姧人妻完视频正版| 成人糖心VLOG视频| 熟女肥臀av二区三区四区| 国产V综合V亚洲欧| 五十路レンタのおばさん| 国产一区日韩二区欧美三区| 亚洲国产AV无码一区二区三区 | 亲近相奷对白中文字幕片| 啊轻点灬大JI巴太粗太长了网站 | 国产影片AV级毛片特别刺激| 亚洲第一AV无码专区| 久久久久久精品免费免费软件| 中国CHAIN同志GAY片国产| 欧美黑人又大又粗高潮喷水| 被伴郎的内捧猛烈进出H| 日本毛多水多做受视频| 国产成人人综合亚洲欧美丁香花 | 在线精品自偷自拍无码中文| 欧美激情一区二区三区| 成熟丰满熟妇AV无码| 无码国产69精品久久久久APP| 孩子玩着玩着就进去了怎么回事| 亚洲愉拍自拍欧美精品 | 国产人与禽ZOZ0性伦| 亚洲欧美激情精品一区二区| 裸体美女洗澡啪啪裸J网站| VICTORYDAY刺激性另类| 熟肉OVA初恋时间2附前作| 国内偷窥一区二区三区视频| 夜夜高潮夜夜爽夜夜爱爱| 欧美日韩一区二区三区人妻| 国产2021在线传媒麻豆| 亚洲爆乳成AV人在线视菜奈实| 久久综合给合久久国产免费| ZPS无套内射视频免费播放| 天天看片天天AV免费观看| 精品欧洲AV无码一区二区男男 | 两个病娇男友轮流爱我资源| FREEZEFRAME丰满寡妇| 他的白月光H1∨1笔趣阁| 狠狠色噜噜狠狠狠777米奇小说| 越南少妇BBV叉叉叉| 日本老熟妇ⅩXX| 国产偷窥真人视频在线观看| 一区三区四区产品乱码| 人人妻人人澡人人爽人人精品97| 国产精品久久久久久TV| 亚洲熟妇色XXXXX成熟| 欧美一级 片内射黑人i| 国产精华精华液一二三区别| 亚洲性色AV私人影院无码| 欧洲多毛裸体XXXXX| 国产精品亚洲专区无码唯爱网| 艳妇乳肉豪妇荡乳ⅩXX| 人妻夜夜爽天天爽三区麻豆AV网| 国产精品无码永久免费888| 夜夜躁天天躁很很躁| 日本一品和二品区别| 狠狠爱ADY亚洲色| 999国产精品999久久久久久| 我偷偷跟亲妺作爱H| 久久久久成人片免费观看| 宝宝才两根手指就疼哭了怎么回事| 性色av蜜臀av色欲av免费| 免费高清中文字幕MV| 国产成年无码久久久久下载| 野花影视在线观看免费高清完整版| 日本精品久久久久中文字幕| 和老婆一起玩的双人| CHINESE国产XXXX实拍| 羞羞色男人的天堂| 欧美XXXⅩ重口变态调教| 国产精品有码无码AV在线播放| 中文精品久久久久鬼色| 脱岳裙子从后面挺进去| 满熟妇XXXX性久久9久久| 公天天吃我奶躁我| 诱人的老师HD中字| 天堂中文在线最新版WWW| 老司机久久99久久精品播放免费| 丰满少妇女人A毛片视频| 野花高清在线电影观看免费视频 | 午夜成人无码免费看网站| 妺妺窝人体色www仙踪林 | 裸体美女扒开下部无遮挡网站免费 | SUNTEK中老年妈妈| 亚洲WWW永久成人网站| 人人妻人人爽人人澡人人少妇| 记忆女神的女儿们| 成人中文乱幕日产无线码| 夜夜揉揉日日人人| 玩弄少妇人妻中文字幕| 女女互揉吃奶揉到高潮视频| 国产午夜成人精品视频APP| BDB14黑人巨大视频| 亚洲国产精品无码专区成人| 日韩精品人妻系列无码专区免费 | 999久久久免费精品播放| 亚洲AV无码专区在线电影成人 | 亚洲AⅤ无码牛牛影视| 强开小娟嫩苞又嫩又紧| 久久99国产精品久久| 国产SUV精品一区二区6| 2021国产麻豆剧传媒在线| 亚洲AV中文无码乱人伦在线R| 日韩国产成人精品视频| 兰姨不敢发出一点声音怕吵醒风| 国产精品一区在线观看你懂的| AV无码AV天天AV天天爽| 亚洲欧洲日产V一个人免费观看视频WWW高清| 日韩在线一区二区三区| 免费无码不卡视频在线观看| 饥渴少妇高清VIDEOS| 国产99久久精品一区二区| 97精品伊人久久久大香线蕉| 亚洲精品第一国产综合精品99| 十八禁乳露裸体奶头WWW网站| 女人爽到高潮的免费视频| 精品亚洲国产成人AV不卡| 国产精品美女久久久久久| 宝宝自己坐下来还是我撞进来视频| 一本无码字幕在钱少妇人妻| 亚洲A∨精品一区二区三区下载 | 精品熟女少妇A∨免费久久| 国产激情久久久久影院蜜桃AV| YYYY11111少妇影院| 在线观看无码H片| 亚洲国产成人精品福利在线观看| 四十路の五十路熟女豊満 | 亚洲αⅴ无码乱码在线观看性色| 丝袜 中出 制服 人妻 美腿| 欧美妆和日韩妆区别777CCC| 里面也请好好疼爱第5话在哪| 好吊色欧美一区二区三区视频| 国产成人久久精品一区二区三区 | 无码专区—VA亚洲V天堂| 日本熟妇色XXXXX日本妇| 男人一生最吉利的网名| 久久久久国色AV免费观看性色 | A亚洲VA欧美VA国产综合| 欲しがる人妻 波多野结衣| 亚洲乱码日产精品BD在观看| 亚洲A∨无码一区二区三区| 四虎库影必出精品8848| 日韩AⅤ人妻无码一区二区| 欧美日韩无套内射另类| 免费XXXXX大片在线观看一区| 久久精品国产亚洲不AV麻豆| 狠狠色噜噜狠狠狠8888在| 国产伦精品一区二区三区| 国产成人精品亚洲日本语言| 大白肥妇BBVBBW高潮| 被CAO的奶水直喷高H| CHINESE裸体男野外GAY| 69女性XXXXⅩ丰满HD| 中文成人无码精品久久久不卡免费| 亚洲一区二区三区丝袜| 亚洲精品无码少妇30P| 亚洲MV砖码砖区2021在线| 性丰满ⅩXXOOOZZXXHD| 无码精品人妻一区二区三区涩爱 | 少妇被又大又粗又爽毛片| 日产精品一卡2卡三卡4卡乱码| 区二区三区国产精华液区别大吗| 女性の乳頭を凸起しています| 免费看AV在线网站网址| 免费A级毛片AV无码| 麻花豆传媒剧国产MV免费天美| 浪潮av专区一区二区三区| 久久久一本精品99久久精品88 | 公交车舒婷1一20全文 | 久久人人玩人妻潮喷内射人人 | 青草青草久热精品视频国产4| 欧美男女一进一出| 欧美亚洲日韩AⅤ在线观看|