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更新時間：2025-08-06
廠商性質：經銷商
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瑞士VAT真空蝶閥61.3 - 蝶形控制閥
61.3 高真空蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準的作用動作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。閥板可充當節流元件，改變閥門開度的流導特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計算所需的閥板位置，以盡快實現設定壓力。
該系列產品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設計。即使粒子載荷高并且存在因設計而沉積的碎屑，61.3 蝶形控制閥仍能夠保持正常運行。
61.3 系列已經安裝在數千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。憑借堅固的設計、直接安裝選項，以及簡單且輕松的維護，61.3 系列在各個方面都令人信服。
閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應、固定 PI 下游/軟抽）方面的各種設計選項可簡化在不同真空應用中的集成。
61.3 高真空蝶形控制閥采用鋁或不銹鋼制成，標準法蘭連接器為 ISO-KF 和 ISO-F，可以集成客戶指定法蘭和特殊功能，如集成式絕緣加熱器。可根據要求提供各種全氟橡膠/氟橡膠彈性體（氟橡膠為標準選項）。
特點：
壓力控制
運行非常快
板載軟件，用于本地運行
惡劣工藝條件下可實現可靠運行
優勢：
工藝可控性更好
正常運行時間長/性能不受限
運行成本低
瑞士VAT真空蝶閥61.3 - 蝶形控制閥
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