產(chǎn)品型號：
更新時間：2025-07-17
廠商性質：經(jīng)銷商
訪 問 量 ：424
15214375780
產(chǎn)品分類
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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001
型號：61344-PEGN-0001
類型：氣動高真空蝶形調節(jié)閥（金屬密封，快響應型）
品牌：VAT Group（瑞士真空閥門技術）
核心特點：超高真空兼容性、耐等離子體腐蝕、毫秒級響應
適用領域：半導體刻蝕/ALD、光伏鍍膜、科研真空系統(tǒng)
| 參數(shù) | 技術指標 |
|---|---|
| 真空范圍 | 10?1? mbar ~ 大氣壓（XHV級） |
| 漏率 | <5×10?1? mbar·l/s（金屬密封版） |
| 閥體材質 | 316L不銹鋼（電解拋光，Ra≤0.5μm） |
| 蝶板材質 | 鈦合金鍍Al?O?（抗等離子體腐蝕） |
| 密封類型 | 全金屬密封（金包覆Inconel） |
| 驅動方式 | 雙作用氣動（可選電動執(zhí)行器） |
| 響應時間 | <30 ms（全開至全關） |
| 溫度范圍 | -20°C ~ +250°C（烘烤兼容） |
| 法蘭標準 | ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8" |
| 控制信號 | 4-20mA/PROFIBUS DP（可選） |
① 等離子體防護設計
Al?O?鍍層蝶板可耐受Cl?/HBr/SF?等離子體侵蝕
特殊流道設計減少顆粒生成（符合SEMI F47標準）
② 超快動態(tài)響應
優(yōu)化氣路設計實現(xiàn)<30ms開關速度
適用于ALD設備的脈沖式氣體控制
③ 智能控制系統(tǒng)
集成高精度位置傳感器（分辨率0.1%）
可選數(shù)字通信接口（支持遠程監(jiān)控）
| 設備類型 | 功能角色 | 特殊要求 |
|---|---|---|
| 原子層沉積(ALD) | 前驅體氣體脈沖控制 | 響應時間<50ms |
| 等離子刻蝕(Etch) | 腐蝕性氣體隔離 | Al?O?鍍層+雙密封 |
| 離子注入機 | 束線真空分段控制 | 無磁化設計（鈦合金材質） |
| EUV光刻機 | 真空維持與顆粒控制 | 超潔凈版本（特殊表面處理） |
安裝規(guī)范：
使用激光對中儀確保閥體安裝偏差<0.05mm
氣路需配置0.1μm過濾器（VAT P/N: FLT-100M）
使用前進行10次空載循環(huán)測試
維護計劃：
每季度：密封面清潔（使用VAT專用清潔劑）
每50萬次循環(huán)：更換驅動機構潤滑脂
每2年：氦質譜檢漏測試（建議原廠校準）
| 特性 | 61344-PEGN-0001 | 61340-PACX-0001 | 61332-KEAF-0001 |
|---|---|---|---|
| 響應速度 | <30 ms | <50 ms | <100 ms |
| 耐溫性 | +250°C | +200°C | +150°C |
| 密封類型 | 金屬+二次密封 | 金屬密封 | 金屬密封 |
| 典型應用 | EUV/ALD | 刻蝕設備 | 通用真空系統(tǒng) |
SEMI F47（電壓暫降免疫）
CE/UL/ROHS認證
ISO 14644-1 Class 4潔凈度
商品編號61346-PAAK-0001
商品編號61334-KAAH-0001
商品編號61340-PACQ-0001
商品編號61336-PEAH-0001
商品編號61340-PEAH-0001
商品編號61344-PEAQ-0001
商品編號61346-PEGF-0001
商品編號61328-KECQ-0001
商品編號61332-KEGE-0001
商品編號61348-PECF-0001
商品編號61332-KECF-0001
商品編號61350-PACE-0001
商品編號61346-PECH-0001
商品編號61346-PEM1-0001
商品編號61336-PEGQ-0001
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001
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