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更新時間：2025-07-17
廠商性質：經銷商
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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001
型號：61338-PECK-0001
類型：氣動高真空蝶形調節閥（金屬密封，快響應型）
品牌：VAT Group（瑞士真空閥門技術）
產品定位：面向半導體制造和科研設備的超高真空動態控制
核心特點：
超高真空兼容性（XHV級）
耐等離子體腐蝕設計
毫秒級快速響應
| 參數 | 技術指標 |
|---|---|
| 真空范圍 | 10?1? mbar ~ 大氣壓 |
| 漏率 | <1×10?? mbar·l/s（金屬密封版） |
| 閥體材質 | 316L不銹鋼（電解拋光，Ra≤0.5μm） |
| 蝶板材質 | 鈦合金鍍Al?O?（可選） |
| 密封類型 | 全金屬密封（金包覆Inconel） |
| 驅動方式 | 雙作用氣動（4-6 bar） |
| 響應時間 | <50 ms（全開至全關） |
| 溫度范圍 | -20°C ~ +200°C（標準） |
| 法蘭標準 | ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8" |
| 控制接口 | 4-20mA/PROFIBUS DP（可選） |
① 等離子體防護系統
可選Al?O?或Y?O?鍍層，耐受Cl?/HBr/SF?等離子體腐蝕
流道優化設計，顆粒釋放率<5 particles/m3（≥0.1μm）
② 超快動態響應
優化氣路設計，實現<50ms開關速度
位置反饋精度±0.5%（可選±0.1%高精度版）
③ 智能診斷功能
集成溫度/振動傳感器（預測性維護）
支持工業4.0通信協議（OPC UA可選）
| 行業 | 具體應用 | 特殊要求 |
|---|---|---|
| 半導體制造 | 原子層沉積(ALD) | 脈沖響應<50ms |
| 等離子刻蝕(Etch) | 耐Cl?/HBr腐蝕 | |
| 光伏設備 | PECVD系統 | 大流量調節（Cv=1.5） |
| 科研裝置 | 同步輻射光源 | 無磁化設計 |
| 真空鍍膜 | 濺射鍍膜系統 | 高精度壓力控制 |
安裝要求：
使用激光對中儀確保安裝偏差<0.1mm
氣路配置0.1μm過濾器（VAT P/N: FLT-100M）
運行前進行5次空載循環測試
維護計劃：
每季度：密封面檢查（使用VAT專用內窺鏡）
每10?次循環：更換驅動機構密封件
年度保養：氦質譜檢漏測試（建議原廠服務）
| 特性 | 61338-PECK-0001 | 61344-PEGN-0001 | 61340-PACX-0001 |
|---|---|---|---|
| 響應速度 | <50 ms | <30 ms | <50 ms |
| 耐溫性 | +200°C | +250°C | +200°C |
| 密封設計 | 單金屬密封 | 雙冗余密封 | 單金屬密封 |
| 典型應用 | 通用真空系統 | EUV/ALD | 刻蝕設備 |
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61338-PECK-0001
商品編號61338-PACN-0001
商品編號61336-PEGK-0001
商品編號61338-PEAF-0001
商品編號61340-PAAE-0001
商品編號61344-PEGK-0001
商品編號61336-PECQ-0001
商品編號61334-KAGQ-0001
商品編號61336-PAGN-0001
商品編號61334-KEAK-0001
商品編號61334-KEGN-0001
商品編號61334-KAGK-0001
商品編號61338-PAM1-0001
商品編號61340-PAGN-0001
商品編號61338-PACH-0001
商品編號61338-PAGF-0001
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