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更新時間：2025-07-17
廠商性質：經銷商
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瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元
型號：VAT 95.3
類型：集成式高真空閥組（控制閥+隔離閥組合）
品牌：VAT Group（瑞士真空技術專家）
設計理念：緊湊型模塊化設計，減少管路連接點，提升系統可靠性
典型應用：半導體刻蝕/沉積設備、光伏鍍膜系統、科研真空裝置
| 組件 | 技術特性 |
|---|---|
| 主控制閥 | VAT 54.1系列金屬密封角閥（漏率<1×10?? mbar·l/s） |
| 隔離閥 | VAT 10.4系列閘閥（快開型，響應時間<100ms） |
| 集成法蘭 | ISO-KF/CF標準，可選DN40~200口徑 |
| 傳感器接口 | 預留真空計/壓力傳感器安裝位（支持Pirani/電容式） |
| 控制模塊 | 可選本地PLC或遠程通信（PROFIBUS/DeviceNet） |
| 參數 | 指標 | 測試標準 |
|---|---|---|
| 真空范圍 | 10?? mbar ~ 大氣壓 | DIN 28400 |
| 整體漏率 | <5×10?? mbar·l/s | 氦質譜檢漏 |
| 溫度適應性 | -20°C ~ +150°C（烘烤兼容） | SEMI F47 |
| 材料兼容性 | 316L不銹鋼+Al?O?鍍層（耐等離子體） | ASTM G31 |
| 循環壽命 | >10?次（主閥） | MIL-STD-810G |
① 系統集成優化
減少傳統分立閥門間的連接法蘭，漏率降低50%
內置流道優化設計，流阻系數降低30%
② 智能控制功能
可選配閥位傳感器（精度±0.5%）
支持壓力-流量閉環控制（需搭配MFC）
③ 維護便捷性
模塊化設計，單個閥門更換時間<30分鐘
正面維護接口，無需拆卸整個真空腔室
| 設備類型 | 功能實現 | VAT 95.3定制方案 |
|---|---|---|
| 等離子刻蝕機 | 工藝腔室壓力分段控制 | 增加WF?專用鍍層 |
| ALD系統 | 前驅體氣體脈沖注入 | 集成快速響應閥（<30ms） |
| 離子注入機 | 束線真空隔離 | 無磁化材料版本 |
安裝規范：
使用激光對中儀確保安裝平面度<0.1mm/m
所有螺栓按十字交叉順序緊固（扭矩值見下表）
| 法蘭規格 | 扭矩值（Nm） | 緊固順序 |
|---|---|---|
| ISO-KF DN63 | 8~10 | 對角線漸進 |
| CF 4.5" | 15~18 | 星型模式 |
調試流程：
初始抽真空至10?3 mbar，保壓測試24小時
進行50次空載循環測試
校準壓力傳感器零點
| 維護項目 | 周期 | 操作規范 |
|---|---|---|
| 密封面檢查 | 每季度 | 使用VAT專用內窺鏡（P/N：INS-100） |
| 潤滑脂更換 | 每10?次循環 | 使用VAC-LUBE 200特種潤滑脂 |
| 全面性能檢測 | 年度 | 需原廠認證工程師執行 |
瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元
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